As 반도체마이크로 전자 기술이 더 높은 성능과 더 높은 집적도로 발전함에 따라 전자 특수 가스의 순도에 대한 요구 사항도 더 높아졌습니다. 고순도 가스 배관 기술은 고순도 가스 공급 시스템의 중요한 부분입니다. 적합한 품질을 유지하면서 가스 사용처에 요구사항을 충족하는 고순도 가스를 공급하는 핵심 기술입니다.
고순도 배관 기술에는 시스템의 올바른 설계, 배관 피팅 및 부자재 선택, 구성, 설치 및 테스트가 포함됩니다.
01가스 전달 배관의 일반 개념
모든 고순도, 고청정 가스는 파이프라인을 통해 최종 가스 지점까지 운송되어야 합니다. 가스에 대한 공정 품질 요구 사항을 충족하기 위해 가스 수출 지수가 확실한 경우 배관 시스템의 재료 선택 및 구성 품질에 더 주의를 기울일 필요가 있습니다. 가스 생산이나 정화 장비의 정확성 외에도 파이프라인 시스템의 여러 요소에 의해 크게 영향을 받습니다. 따라서 파이프 선택은 관련 정화 산업 원칙을 준수하고 도면에 파이프 재질을 표시해야 합니다.
02가스 운송에서 고순도 파이프라인의 중요성
고순도 가스 운송에서 고순도 파이프라인의 중요성 스테인리스강 제련 과정에서 각 톤은 약 200g의 가스를 흡수할 수 있습니다. 스테인레스 스틸을 가공한 후에는 표면에 각종 오염 물질이 달라붙을 뿐만 아니라 금속 격자에 일정량의 가스가 흡수됩니다. 파이프라인을 통과하는 공기 흐름이 있을 때 금속에 흡수된 가스의 일부가 공기 흐름에 다시 들어가 순수 가스를 오염시킵니다.
파이프 내의 공기 흐름이 불연속적일 때 파이프는 통과하는 가스에 압력 흡착을 형성합니다. 기류의 통과가 멈추면 배관에 흡착된 가스가 감압 분석을 형성하고, 분석된 가스도 불순물로서 배관 내 순수 가스에 유입됩니다.
동시에, 흡착 및 분석 주기로 인해 파이프 내부 표면의 금속이 일정량의 분말을 생성하게 됩니다. 이 금속 먼지 입자는 파이프의 순수 가스도 오염시킵니다. 파이프의 이러한 특성은 매우 중요합니다. 이송되는 가스의 순도를 보장하기 위해서는 파이프 내부 표면의 평활도가 매우 높아야 할 뿐만 아니라 내마모성이 높아야 합니다.
가스의 부식성이 강한 경우 배관에는 내식성 스테인레스 스틸 파이프를 사용해야합니다. 그렇지 않으면 부식으로 인해 파이프 내부 표면에 부식 반점이 나타납니다. 심한 경우 큰 금속 조각이 벗겨지거나 구멍이 뚫려 운송되는 순수 가스가 오염될 수 있습니다.
03파이프재질
파이프의 재질 선택은 사용 요구에 따라 선택해야 합니다. 파이프의 품질은 일반적으로 파이프 내부 표면의 거칠기에 따라 측정됩니다. 거칠기가 낮을수록 입자를 운반할 가능성이 줄어듭니다. 일반적으로 세 가지 유형으로 나뉩니다.
하나는EP 등급 316L 파이프, 전해연마(Electro-Polish) 처리된 제품입니다. 부식에 강하고 표면 거칠기가 낮습니다. Rmax(최대 피크에서 밸리까지의 높이)는 약 0.3μm 이하입니다. 평탄도가 가장 높고 미세 와전류 형성이 쉽지 않습니다. 오염된 입자를 제거하십시오. 공정에 사용되는 반응가스는 이 수준에서 배관되어야 합니다.
하나는학사등급 316LBright Anneal로 처리된 파이프로 GN2, CDA 등 칩과 접촉하지만 공정 반응에 참여하지 않는 가스에 자주 사용됩니다. 하나는 AP관(Annealing & Picking)으로 특수처리를 하지 않은 것으로 일반적으로 가스공급라인으로 사용되지 않는 이중외관에 사용된다.
04 파이프라인 건설
파이프 입구의 가공은 이 건설 기술의 핵심 포인트 중 하나입니다. 파이프라인 절단 및 사전 제작은 깨끗한 환경에서 수행되며 동시에 절단 전 파이프라인 표면에 유해한 흔적이나 손상이 없는지 확인됩니다. 파이프라인을 열기 전에 파이프라인의 질소 플러싱 준비를 완료해야 합니다. 대유량의 고순도, 고청정성 가스 송배전 배관을 연결하기 위해 용접을 원칙으로 하지만 직접 용접은 허용되지 않습니다. 케이싱조인트를 사용하여야 하며, 사용되는 배관재료는 용접시 구조변화가 없어야 한다. 탄소 함량이 너무 높은 재료를 용접하면 용접 부분의 통기성으로 인해 파이프 내부와 외부의 가스가 서로 침투하여 운반 가스의 순도, 건조도 및 청결도가 파괴되어 심각한 결과를 초래할 수 있습니다. 생산 품질에 영향을 미칩니다.
요약하자면, 고순도 가스 및 특수 가스 전송 파이프라인의 경우 특수 처리된 고순도 스테인레스 스틸 파이프를 사용해야 하며, 이는 고순도 파이프라인 시스템(파이프라인, 파이프 피팅, 밸브, VMB, VMP 포함)이 고순도 가스 유통의 중요한 임무입니다.
게시 시간: 2024년 11월 26일